Avdunstningsbåtström Hur man kontrollerar
Aug 07, 2023
Nitridborid (BN) är ett material med utmärkta mekaniska, termiska och elektriska egenskaper. Den har en hög smältpunkt, utmärkt kemisk stabilitet och goda elektriska isoleringsegenskaper. I applikationer inom elektronik och optoelektronik används BN ofta som ett material för termisk hantering, såväl som ett dielektriskt skikt och passiveringsskikt i mikroelektroniska enheter. Indunstning av BN är en process som tillåter avsättning av BN-filmer med exakt kontroll av tjocklek och enhetlighet, och den används i stor utsträckning vid tillverkning av BN-baserade enheter.
En av nyckelparametrarna i BN-avdunstningsprocessen är strömmen som flyter genom båten som innehåller BN-materialet. Båten är vanligtvis gjord av en eldfast metall som volfram eller molybden och värms upp av en högeffekts elektronstråle. När båten värms upp sublimeras BN-materialet och bildar en ånga som avsätts på underlaget.
Strömmen som flyter genom båten är avgörande för att kontrollera hastigheten för BN-avdunstning och kvaliteten på den avsatta filmen. En högre ström kommer att öka avdunstningshastigheten, men det kommer också att öka temperaturen på båten, vilket leder till nedbrytning av BN-materialet. Däremot kommer en lägre ström att bromsa förångningsprocessen, vilket leder till en tunnare film, men det kommer också att minska temperaturen på båten och öka kvaliteten på den avsatta filmen.
För att kontrollera strömmen som flyter genom båten används ofta en strömförsörjning. Strömförsörjningen kan justera spänningen och strömmen som tillförs elektronkanonen, som i sin tur styr båtens värmeeffekt. Genom att justera strömförsörjningen kan operatören kontrollera strömmen som flyter genom båten, och därmed förångningshastigheten för BN-materialet.
Sammanfattningsvis är strömmen som flyter genom BN-förångningsbåten en kritisk parameter för att kontrollera förångningshastigheten och kvaliteten på den avsatta filmen. Med hjälp av en strömförsörjning kan strömmen kontrolleras exakt, och förångningsprocessen kan optimeras för att uppnå önskade filmegenskaper. Med hjälp av denna process kan vi skapa avancerade elektroniska enheter med större effektivitet än någonsin tidigare.
